等离子清洗机 BP-4
自动等离子体清洗机
Item | Specification | Remark |
生产工艺控规 | 自动的将新物品或载盘，倒入腔体中的电级架中，高频率电软件系统，来说摆摆在在电级架拖盘上亦或料盒中的新物品来进行涡流等化合物外观改质 | |
传大模式 | 主动左右两料 | 可摆放在4-五类料盒/CT约40秒 |
腔体 | 材质原料：AL6061 | |
内腔体积约20L | ||
增强安全性的玻璃抽真空腔体窗口化 ，抗紫外线的线及高頻福射 | ||
真空系统泵 | 正空泵莱宝D-60T | |
工艺阻力10~100pa当中 | ||
负荷量测区间10-3~1 torr | ||
生产工艺甲烷气体 | 混和和气气体：95% Ar+5%H2 | 混合气体含量约：5~40sccm区间内 |
质流量数据控制SEVEN START D70 | ||
等正离子交流电源 | 结构：rf射频RF Generator（含自动化自动匹配器） | |
规律：13.56MHz | ||
电率：0-600Watt | ||
等铝离子调节作用 | 载盘（探针）间相互完善电容（电容器）传器式造成范围等铁离子 | |
的气体流场匀称 | 门框最前端进气口匀带到生产工艺甲烷气体 | |
更好层流，上升等阴阳离子竖直度，由腔体正后方排气阀门 | ||
应急集中控制 | 当腔体门另存，真空泵PUMP阀件封闭与RF电不了再启动 | |
应急止住启闭EMS | 选用设定性质急忙停此开关按钮和平放在方面工作的范围 | |
保持 | PLC+威伦摸屏/3级账号密码 |
产品 | 规 格 | |
电 力 | 相 （Phase）/ 线 （Line） | 3相4线 |
Power supply | 的电压（Volt)）/ 平率（Hz） | 380 V/ 50Hz |
工作效率（Power） | 2.5KVA | |
Grounding | ||
压缩成空气质量 | CDA | 破蒸空用/手动引擎市场需求 |
（CDA） | 负荷 Pressure （kg/cm2） | 6 |
用户量 flow rate （LPM） | 20 | |
外径 Pipe dia.（mm） | 外径6mm內径4mm | |
排 气 | 循环风法 | 的安装原装石油天然气过滤器与回收利用套件 |
Exhaust | 管子尺寸 Pipe dia.（inch） | DN40 |
外壳图片尺寸 （Outline） | 宽*高*深（mm） | 约1100*1600*1060（含双色灯） |
启动重量体积（kg） | 约800 KGW | |
