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真空等离子清洗机

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葫芦岛自动等离子清洗机

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详细介绍

等离子清洗机  BP-4

自动等离子体清洗机

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Item

Specification

Remark

生产工艺控规

自动的将新物品或载盘,倒入腔体中的电级架中,高频率电软件系统,来说摆摆在在电级架拖盘上亦或料盒中的新物品来进行涡流等化合物外观改质


传大模式

主动左右两料

可摆放在4-五类料盒/CT约40秒

腔体

材质原料:AL6061


内腔体积约20L


增强安全性的玻璃抽真空腔体窗口化   ,抗紫外线的线及高頻福射


真空系统泵

正空泵莱宝D-60T


工艺阻力10~100pa当中


负荷量测区间10-3~1   torr


生产工艺甲烷气体

混和和气气体:95% Ar+5%H2

混合气体含量约:5~40sccm区间内

质流量数据控制SEVEN START D70


等正离子交流电源

结构:rf射频RF Generator(含自动化自动匹配器)


规律:13.56MHz


电率:0-600Watt


等铝离子调节作用

载盘(探针)间相互完善电容(电容器)传器式造成范围等铁离子


的气体流场匀称

门框最前端进气口匀带到生产工艺甲烷气体


更好层流,上升等阴阳离子竖直度,由腔体正后方排气阀门


应急集中控制

当腔体门另存,真空泵PUMP阀件封闭与RF电不了再启动


应急止住启闭EMS

选用设定性质急忙停此开关按钮和平放在方面工作的范围


保持

PLC+威伦摸屏/3级账号密码



产品

规 格

电  力

相 (Phase)/ 线 (Line)

3相4线

Power supply

的电压(Volt))/ 平率(Hz)

380 V/ 50Hz


工作效率(Power)

2.5KVA


Grounding

压缩成空气质量 

CDA

破蒸空用/手动引擎市场需求

(CDA)

负荷 Pressure (kg/cm2)

6


用户量 flow rate (LPM)

20


外径 Pipe dia.(mm)

外径6mm內径4mm

排   气

循环风法

的安装原装石油天然气过滤器与回收利用套件

Exhaust

管子尺寸 Pipe dia.(inch)

DN40

外壳图片尺寸                   (Outline)

宽*高*深(mm)

约1100*1600*1060(含双色灯)

启动重量体积(kg)

约800 KGW


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